一、真空炉分压原理

1、真空炉(vacuum furnace)是真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10-2～10-4)h。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高频感应加热。高温度可达3000℃左右。

2、在真空加热炉中，为了防止工件的高蒸汽压金属元素在真空加热阶段挥发，一般都会采用通入惰性气体提高总炉压，传统真空加热炉采用针阀加电磁阀通断、以及罗茨泵的变频实现压力调整，这种做法使得真空炉内炉压波动大，分压调整的范围受针阀的开启量影响，不能实现大范围、精准的分压控制。

二、什么是自耗炉

1、真空电弧炉是在抽真空的炉体中用电弧直接加热熔炼金属的电炉。炉内气体稀薄，主要靠被熔金属的蒸气发生电弧，为使电弧稳定，一般供直流电。按照熔炼特点，分为金属重熔炉和浇铸炉。

2、按照熔炼过程中电极是否消耗（熔化），分为自耗炉和非自耗炉，工业上应用的大多数是自耗炉。

3、真空电弧炉用于熔炼特殊钢、活泼的和难熔的金属如钛、钼、铌（见真空冶金）。

三、为什么真空炉一加热真空度就下降

1、真空炉一加热，内部的物体会释放出气体和蒸汽，这些气体和蒸汽会占据炉内空间，导致真空度下降。

2、此外，加热过程中，炉内的环境变得更加活跃，分子运动更加剧烈，从而会产生更多的气体和蒸汽，加速真空度下降。为了保持较高的真空度，需要定期排除炉内的气体和蒸汽，并及时补充制造真空所需的材料。

四、真空淬火原理

1、真空淬火炉适用于对大、中型真空产品零部件的固溶处理及时效处理。真空高压气体淬火炉是一种非常先进的真空热处理设备，其出色性能和独特的设计提供了广泛的适用高速钢、模具钢、不锈钢、合金钢、钛合金等合金材料高精密零件的真空光亮气淬、退火、磁性材料的烧结及快速冷却等特点。

2、真空淬火炉是由加热炉罩和移动式底架组成的。方形(或圆形)炉罩顶装有起重机，通过链条和挂钩可将料筐吊至炉膛。炉罩由型钢支起，底部有气动(或电动)操作的炉门。位于炉罩下方的底架可沿轨道移动、定位，底架上面载有淬火水槽和料筐。

五、真空炉漏气为什么

真空系统漏气的原因常见的有以下情况。

1、器壁材料有气孔、夹渣、裂纹。轧制材料出现这种缺陷的可能性小，而铸件易引起这种缺陷。

2、焊接、封接时有缺陷。原因是焊接时操作不慎，焊接工艺选择不当，焊缝设计不合理，焊接顺序选择不当，焊接操作不方便等因素，均会引起焊缝漏气。

3、零件在冷加工中出现裂纹。如弯管时不小心会产生裂纹；焊后加工的法兰，易引起法兰与管道间焊缝产生裂纹。

4、零件受冷、热冲击或机械冲击后，焊缝产生裂纹

5、在焊接应力作用下使焊缝产生裂纹。

6、密封面加工粗糙、有划痕、有油污、氧化皮等；密封圈有划伤，压缩量不够，均会引起漏气。

7、法兰变形，或压的不平，螺栓没上紧均能引起漏气。真空管道上往往安装有许多法兰、阀门，连接部位是易漏点。

由于上述原因，金属真空系统易漏气的部位有：焊缝起焊及收焊部位，两条焊缝交叉点，波纹管焊接部位，管接头焊缝，受运动影响的钎焊焊缝。法兰密封或动密封处，如果安装前仔细清洗，装配合理，这种部位不易漏气。金属一陶瓷、金属一玻璃封接处，如引出电极、规管的高压引线，管脚，管帽等处。受冷、热冲击影响的焊缝。